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余鹏鲲：清华光源对自主光刻机追赶突破意义大吗？

SSMB光源更不是汉芯这样存在欺诈的项目，它的意义是重大的、明显的，代表了中国粒子加速器和同步辐射领域的顶级水平。也确有可能成为国产EUV光刻机的 ...

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