本集節目由「 ASML 」贊助播出。​
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解密全球最大半導體設備商 ASML EUV 極紫外光獨家創新技術，​
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＃BePartofProgress ＃Innovation​
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還記得去年夏天有個新聞是，​
路上出現了幾台，價值 ＃台幣三十億 起跳的 ＃白色超長貨櫃車 嗎？​
有人說，看到這個標誌的貨車最好閃遠一點，不然一不小心撞到，是絕對賠不起的。​
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今天就讓我們來聊聊這個神秘貨車背後的故事吧！​
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🎥 影片重點節錄 🎥​
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📍 大約在 1990 年代左右，主流的「 ＃乾式曝光 」微影技術，就已經把光源的波長，從 436 奈米，逐漸縮短到 193 奈米的紫外光。​
📍 但如果還想繼續縮短，把更精密的電路放到晶圓上，就會遇到「鏡片」在物理上的極限，這個 193 奈米的關卡，當時大家都認為很難突破。​
📍 不過，當時台積電的研發副總經理 ＃林本堅 ，就與荷蘭的 ＃ASML 公司，共同研發出「 ＃浸潤式微影 」技術，把原先 193 奈米設備的鏡頭，浸到水裡。​
📍 透過水的折射，巧妙地產生等同於波長 134 奈米的微影效果，成功突破了「 ＃乾式微影 」的極限，讓整個產業的技術又能夠持續演進下去。​
📍 這個「浸潤式微影」的技術一直發展下來，最關鍵的突破，就是縮寫是「 ＃EUV 」的「 ＃極紫外光 」技術了。​
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當年透過水的折射，產生 134 奈米的微影效果，就已經是很了不起的技術成就了，那現在 ASML 精進到甚麼程度的技術了呢？現在就趕快點開下方影片，讓我們一起來看看吧！​
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【台積電守護神飆漲的秘密】
2021/2/21(日)
大家好，我是LEO
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■ 市場還不熟悉它
意德士(7556)，真正跟台積電直接相關的半導體供應商，主要客戶是台積電、聯電、世界先進等晶圓代工客戶，在股票市場是新兵2020年10月才剛掛牌，認識它的投資人很少，許多投資分類，例如EUV概念股、ASML概念股、台積電設備概念股…媒體新聞都很少報導，更何況一般投資人不熟悉，但是它是半導體界的老兵，寶劍磨了 20幾年準備大展身手，早在1999年公司成立至今21年，它的產品比任何一家半導體設備公司都更重要，直接接觸矽晶圓，直接影響台積電先進製程良率，7奈米以下尤其關鍵，加上背後有掌握關鍵原料的國際大廠全力支持，它才是真正的「台積電守護神」。
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■ 關鍵產品
為什麼 LEO稱意德士為台積電守護神，首先要了解它的產品「真空吸盤」用在哪裡？那就必須先講ASML艾斯摩爾，這家荷蘭廠商，主要生產EUV光刻機，其中最特別的是EUV極紫外光刻機，是目前全球唯一能夠生產製造的廠商，是半導體業者進入7奈米以下製程必備的機台，一台動輒 30幾億台幣，2019年ASML出貨26台，估計台積電買走 20台，因為台積電率先採用它的設備，並且克服「良率與防塵」問題，成就晶圓代工技術的世界霸主代位，狠狠的將對手英特爾、三星甩在後頭，未來 3到5年內無人能敵。
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但是，你們有思考過這個問題？為什麼台積電、英特爾、三星在拚先進製程都買ASML的EUV極紫外光刻機，為什麼只有台積電成功搶下第一名寶座，因為「意德士」扮演了關鍵角色，大家要了解EUV極紫外光刻機就是用軍用等級的極紫外光，光線的波長僅13.5奈米，透過光罩把電路圖雕刻在晶圓上，因為波長越短，線越細，才能讓晶圓製程持續突破摩爾定律往5奈米、3奈米、甚至1奈米前進。
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不過，當台積電在2009年使用EUV光刻機過程中，發現不夠精準會影響良率，當時的全球最強的3家廠商，ASML、Nikon、Canon都無法解決問題，因為光刻機必須把光源精準打在愈來愈小的線徑，光打出來很準，但是經過一定距離會出現角度偏移，當台積電要進入更小的奈米製程，沒有辦法讓所有的線路都很清楚，這時候就找上「意德士」利用大數據回歸模擬演算法，調整真空吸盤的平面曲度，讓所有晶圓在一次曝光中良率可以達到完美狀態。
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■ 讓台積電嚇一跳
意德士花了7年研究，不斷送樣本去測試，累積上百萬筆數據，計算預測客戶設備可能的良率分布圖，當台積電看到預測數據時也嚇一跳，後來召開技術委員會討論後就決定跟意德士合作，一路從10奈米到3奈米持續合作，成為值得信賴的夥伴。
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■ 意德士背後強大的靠山
意德士原本代理銷售薄膜製程使用的靜電吸盤，後來跟日本原廠NTK集團合資設立誼特科技，意德士持股49%，在台灣生產靜電吸盤及陶瓷加熱器、高密度電漿熔射設備，再銷往美國半導體設備大廠。
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真空吸盤設備上，意德士是設計後委託日本NKT代工，再出貨給晶圓代工客戶，未來售後維修也在意德士，至於在蝕刻製程用到的靜電吸盤，則是日本夥伴NKT委託誼特生產出貨，意德士負責售後維修，設備機台過保固期後，產生的售後維修商機未來五年仍將持續成長。
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另一半導體關鍵主力商品，全氟密封環（FFKM Oring），氟化物是戰略性物質掌握在全球少數國家，2019年當日韓掀起科技大戰，日本針對出口給南韓的氟化物加強審查，南韓急跳腳，它是半導體、智慧手機、顯示器等高科技產品中不可或缺的原料，而日本在全球的氟聚酰亞胺和光阻劑市占率達九成以上，氟化氫的市占率逾七成。
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意德士原本代理銷售日本大金DUPRA全氟密封材，這是用在半導體前段設備，薄膜製程中的金屬腔體裡，因為設備需要保持真空狀態，所以全氟密封環需要耐高腐蝕電漿材料、耐臭氧電漿材料，後來在2002年政府推動「兩兆雙星」計畫，支持台積電等大型半導體業者推動零組件供應本土化，意德士成立子公司大鐿科技，由日本大金支持提供氟原料，讓意德士旗下大鐿科技自行生產，全氟材料應用範圍很廣，最近新廠落成規模是舊廠2.5倍大，預計最快3年內就能滿載。
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■ 未來龐大的商機
無論是台積電、三星、英特爾、中國都傾全力發展半導體產業，過年封關前歐美正為了車用晶片缺貨大傷腦筋，甚至找上台灣政府希望拜託台積電生產車用晶片解決燃眉之急，當時股民當家團隊嗅到商機，歐美勢必沒想過其產業經濟命脈，會被亞洲小國掐住脖子，偏偏台灣又籠罩在中國的文攻武嚇之下，萬一台灣怎麼了，全世界恐將發生大震盪。
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果然台灣過年期間傳出，歐美等半導體業者上書政府要求支持半導體自主化，拜登也答應全力支持，這對設備業者來說，絕對是一大利多，更遑論當電子產品越做越小，奈米數越來越低，EUV極子外光刻機使用量越來越多，各國資本資出越來越大，用來固定晶圓的真空吸盤，與保持設備真空密封狀態的全氟密封環，用量只會越來越大，重點是能夠提供這樣產品的廠商，屈指可數，在台灣只有「意德士」，台積電沒它還真的不行，LEO稱之為台積電守護神實至名歸，至於未來會漲到哪裡？2020年毛利率已經超過 40%，就看市場有沒有眼光，預見未來下一座護國神山。
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《文茜的世界周報》

#含主持人陳文茜解說
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<單則精選>
人才是當前科技競爭下，各國都在競逐的戰場，而美中科技戰下，為規避華府與北京間的交鋒，動輒脫鉤.制裁或禁運的風險，不論是中國或西方的高科技，近來紛紛加大在政治立場相對中立的新加坡投資，面對這波產業鏈的轉移，新加坡也做好了準備。

過去因就業市場向外國人開放，引發反對黨的指責，社會更有排外的氣氛，讓近來新加坡在政策上有所緊縮，但新加坡總理李顯龍本週親上火線，為一項「科技准證」(Tech.Pass)的計畫做政策遊說，這項計劃只有500個名額，瞄準高科技專才，滿足條件的就給予留在新加坡創業或任職的機會，李顯龍說，這能為新加坡創造新的就業 並鞏固科技樞紐地位。

爭取科技人才舉世皆然，全球最大晶圓代工廠台灣的台積電，宣佈結構性調薪20% 創下歷年最高漲幅，顯然也是為了留住人才，同時應對中國在半導體行業上積極高薪挖角的挑戰。

而半導體正是美中科技戰的主戰場，特別是對華為的禁運之下，凸顯中國在這領域的短板，曾被英國《金融時報》等國際媒體，評選為亞洲科技硬體分析師第一名的楊應超說，中國忽略了半導體的重要性，如果最核心的晶片全面斷供，整個「中國製造」將完全崩潰，也因此，中國近來訴求「自力更生」 ，要以傾國之力打造「中國芯」，但楊應超認為，這並不容易。

如同美國逼迫當年的日本簽署《美日半導體協議》，以貿易手段摧毀日本半導體產業對美國造成的威脅和挑戰，當前美國也正全面壓制中國的科技創新，窒息技術的取得和人才的流動，而這恐怕並非中國喊出「自立更生」就能突圍。

{內文}
美中科技戰下的世局動盪，讓政治立場相對中立的新加坡迎來機會，為規避華府與北京間的交鋒，動輒脫鉤 制裁或禁運的風險，不論是中國或西方的高科技，近來紛紛加大在新加坡的投資，而面對這波產業鏈的轉新加坡也做好了準備。

(海峽時報視頻新聞主播)
明年1月 (新加坡)將有新的工作准證制度，提供給外國頂尖技術專業人員，憑此通行證，他們可以在新加坡開設公司並經營業務，或者在本地成為其他公司的股東或投資者，因就業市場向外國人開放引發反對黨的指責，讓近來新加坡在政策上有所緊縮，但在高端人力的引進上仍不遺餘力，這次更瞄準高科技，推出的「科技准證」(Tech.Pass)的計畫，即過去一年最低月薪兩萬(新加坡幣)，5年的科技企業領導職位，或曾主導科技產品研發，三項要件只要滿足兩項，就可留在新加坡創業或任職，名額雖然只有500人，但星國經濟發展局預計，這將吸引全球頂尖的科技專才加入，更可為新加坡帶來新的就業。

(李顯龍/新加坡總理)
非新加坡人在新加坡時，必須努力適應工作和社交，而新加坡人必須了解，這是新加坡如何創造新工作，和更多就業的方式，且必須確保他們受到公平對待，不會受到歧視，並在工作和晉升方面有公平的機會，他們必須看到科技公司，帶來了構建行業和能力的專業知識和經驗，這樣我們自己的員工可以從他們身上學習，提升自己並最終建立我們自己的人才庫

面對國內排外的氣氛，新加坡總理李顯龍本週在一場論壇上，為「科技准證」的政策辯護，而爭取科技人才舉世皆然，全球最大晶圓代工廠台灣的台積電，宣布結構性調薪20%，創下歷年最高漲幅，顯然也是為了留住人才，同時應對中國在半導體行業上，積極高薪挖角的挑戰。而半導體正是美中科技戰的主戰場，特別是對華為的禁運之下，凸顯中國在這領域的短板，官方數據顯示，中國是全球最大的晶片進口國，已連續三年都超過3000億美金，金額比進口原油還要多。

(魏少軍/大陸清華大學微電子研究所所長)
中國集成電路發展很長時間以後，到了2000年有一個小高潮，後面呢就10多年的時間，其實我們在半導體方面的投資是非常少的，而同期全球的平均投資額，每年的平均投資額大概在500億美元左右，我們國家的投資，我們開玩笑說是叫，在人家的投資的統計誤差範圍之內，就基本上是可以忽略不計的，可以忽略不計的，那麼沒有投資，市場或者企業又沒有自我造血的能力，那麼這個過程當中，你的產業發展就是非常艱苦

過去的「中國製造」技術靠外援，零件全進口，只求代工賺快錢，缺少研發投入的結果，在轉型升級路上，就遇上被外國人「卡脖子」的瓶頸，這狀況在半導體產業最為凸出。

(楊應超/柯克蘭資本董事長)
我們之前談到所謂「紅色供應鏈」，就是之前台灣公司到大陸設廠，做什麼製造，世界工廠，那大陸後來崛起，基本上台灣人做的，大陸都學會了，因為大陸有市場，他可以砸錢 有人工，所以從零件 組裝 DRAM 面板都做會了，唯一一個大陸學不會的就是半導體，那這個東西因為投入太深了，那大陸對於這點可能沒有特別注意到，他們就賺錢為主，可能上市啊 資本市場，這類有想過做，後來忽略就沒有了

曾被英國《金融時報》等國際媒體，評選為亞洲科技硬體分析師第一名的楊應超說，
中國忽略了半導體的重要性，如果最核心的晶片全面斷供，整個「中國製造」將完全崩潰，也因此，中國近來訴求「自力更生」，要以傾國之力打造「中國芯」，但楊應超認為這並不容易。

(楊應超/柯克蘭資本董事長)
半導體有三個很大的門檻，大陸一直沒有辦法跨越，第一個門檻就是所謂的IC設計
IC設計就像台灣的聯發科，就者一批工程師 去設計 晶片設計，這個其實沒那麼難，
因為只要花錢把人搶來就可以了，難的地方是設計的那個軟體，只有三家公司做這個軟體，都是美國公司

(羅斯/美國商務部長)5月20日，我們發布了一項命令，這次規則限縮就明確表明，使用任何美國軟體或使用美國製造設備的產品，為華為生產產品，這將被禁止，並且需要獲得許可

美國商務部在5月的禁令修改了「外國直接生產規則」（FDPR），這恐怕讓華為旗下的晶片設計公司海思停擺，因為設計晶片必備的軟體幾乎全是美國公司，包括益華設計系統(Cadence)，新思科技(Synopsys) Ansys，及德國的明導(Mentor Graphics)這4大巨頭，幾乎都受制於美國的禁令。

(楊應超/柯克蘭資本董事長)
第二個門檻就是器材，所謂的半導體器材，從台積電來講好了，他拿一個wafer就是晶圓，從無到有，兩個月的時間 要300個過程，要做300道手續才能把晶圓做出來，然後他要很多機器來做，最重要的機器就叫Lithography，中文好像叫光刻，就是光去刻那個東西，只有一家可以做，就是ASML，荷蘭的公司 對，就那一家做的出來
，這家重要的程度就是說，連台積電 連三星都要去求他們去買機器 去搶機器，他們機器訂的話，一年以後才拿的到，而且他們都入股那個公司了，因為要拿那個機器，所以沒有那個機器，後面就免做了，所以大陸拿不到機器的話，這個機器是不能替代的 就沒有了

艾司摩爾(ASML)的極紫外光刻機EUV是晶片製程的設備，這和傳統底片曝光類似，以雷射對幾何圖像曝光，然後對矽晶圓進行刻蝕，利用極短波長的特殊光源，把轉印到半導體上的電路線寬，縮小到7奈米以下，目前能製造光刻機的有日本佳能與尼康等企業，但能生產紫外線光刻機並且量產的只有荷蘭的艾司摩爾(ASML)一家，這壟斷了全球科技供應鏈上最重要的一環，台灣的台積電就是艾司摩爾的客戶之一，而受制於「瓦聖納協議」的科技管制，艾司摩爾出售光刻機給中國，都需要荷蘭政府的許可，過去往往因為等待審批，錯失獲得先進製程的時機。

(楊應超/柯克蘭資本董事長)
最難的第三道，就是怎麼做出來，像餐館好了，餐館廚房給我做，器材都在，叫我去炒，我炒不出來，因為我不會炒，就是，你軟體也給你，器材給你。你怎麼做，這個就是know how，工程師多年經驗才做得出來，所以半導你你常聽到一個名詞，叫yield rate (良率)，就是同樣的晶片，有人做出來可能是90%的yield rate(良率)，通常90%以上，有人做出來可能1%或0%，就你晶片做了半天，那麼複雜做出來是爛的東西，就所謂的yield rate(良率)，中芯半導體設立是2000年初，那時候我去看過，在上海外面嘛，那個時候沒有中美貿易戰，那時候基本上他要什麼有什麼，他有軟體 有硬體，20年做不出來，就我剛才講的第三部份，就經驗所謂的recipe(秘訣)，怎麼做yield rate(良率)，(就不會炒菜)，對 不會炒，所以他20年的時間全部給你還做不出來

楊應超認為，從設計 製程設備到人才，這半導體的三道門檻，是中國難以跨越的鴻溝，而這正是所有科技產業的最核心，如同美國逼迫當年的日本簽署《美日半導體協議》，以貿易手段摧毀日本半導體產業，對美國造成的威脅和挑戰，當前美國也正全面壓制中國的科技創新，窒息技術的取得和人才的流動，而這恐怕並非中國
喊出「自立更生」就能突圍。
https://www.youtube.com/watch?v=hH6WUB1Msow

【完整版】2020.11.22《文茜世界財經周報》
https://www.youtube.com/watch?v=BuDkX0DhDWg

投資台積電也了解一下台積電的技術護城河在哪裡吧！奈米製程裡用到的EUV技術，極紫外光是什麼呢？雖然三星、Intel英特爾也有EUV光刻機/曝光機，但是最終能夠駕馭這個技術並成功量產的還是 2330 台積電。

#台積電 #EUV #7奈米 #台積電新聞 #台積電股價

EUV的成果是2330台積電股價可以攀升的原因之一。為什麼呢？因為臺積電在這個製程領先才能在7奈米、5奈米上領先對手三星、Intel，讓訂單持續湧入。臺積電在防塵技術上的突破，就算是一顆奈米級的灰塵也會因此影響半導體廠的生產良率，而EUV光刻機對於防塵的要求又比過去採用DUV光刻機時更高，因此在三星及Intel都還卡在防塵處理這關時，台 積 電 成功改良了光罩防塵技術，就因此讓TSMC成為全球首間導入EUV技術並且達成量產的廠商，在7奈米的訂單上大幅超越死敵三星。

極紫外光大家可以理解為一種波長較短的紫外光，lithography最早是石版印刷的意思，現在也被用來稱呼為光刻技術，所以把他們兩者合起來就是“利用極紫外光來進行雕刻”的意思，那要雕什麼呢？要雕晶圓。

延伸閱讀：
台積電如何在財務數據打趴中芯國際
https://www.stockfeel.com.tw/?p=97264
挑戰晶圓代工霸主(I)─台積電VS聯電
https://www.stockfeel.com.tw/?p=41088
格羅方德退出 7 奈米 台積電笑納 AMD 需求
https://www.stockfeel.com.tw/?p=70550

資料參考：
《一文看懂光刻機》
《晶圓代工爭霸戰：半導體知識(前傳) 》
《拿走英特爾的皇冠、超車三星，台積電贏在一顆奈米級灰塵 》

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台積電拚5奈米關鍵技術！影片直擊極紫外光EUV微影技術是怎麼運作的https://www.bnext.com.tw/article/57392/asml-euv-tsmc-how-to-operation
何謂 EUV 微影？https://www.gigaphoton.com/ct/technology/euv-topics/what-is-euv-lithopgraphy