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euv光源
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EUV光源新突破:有望解决国产光刻机难题
近日,一只来自清华大学的科研团队发表了一篇有关EUV光源的研究成果,而EUV光源正是EUV光刻机的核心基础。 这项发现也给中国自研光刻机带来了技术上支持。 稳态微聚束 ...
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