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DUV和EUV光刻机的区别在哪？--科普知识

193nm的光经过折射后，等效波长为134nm，从而实现比F2光源更高的分辨率。浸没式ArF的代表厂商是ASML和台积电。由于F2光源无法穿透水，因此无法和浸没 ...

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