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藉助CO 2 高功率雷射系統和錫產生EUV輻射

藉助CO2高功率雷射系統和錫，為批量的半導體EUV曝光產生EUV輻射。 ... 是所生成極紫外(EUV) 光的波長，實現尺寸低於10奈米的結構製造。

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