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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術

限，傳統技術已無法繼續微縮晶片，此時極紫外光(EUV)微影機就在眾多技術下 ... 合激發的深紫外光(DUV)準分子雷射光源，如氟化氪(KrF)產生的248 nm 波長和.

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