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極紫外線光學元件

極紫外線(EUV) 球面反射鏡採用多層鉬/矽鍍膜，就像極紫外線(EUV) 平面反射鏡一樣，不過其中採用彎曲基材，可在5° 入射角聚焦未偏振的EUV 光源。這類反射鏡在13.5nm ...

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