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EUV(13.5nm)深紫外線光源XUUS

産生的EUV光源可用于半導體材料、相干衍射成像（CDI）和原子分子學光譜等研究方向。 • 此系統可以與來自不同的公司，不同波長的飛秒激光器配套使用，以産生更寬光譜 ...

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