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挽救摩爾定律：ASML 極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程

EUV 微影技術採用錫的電漿來產生波長為13.5 奈米的光源，以及用鉬矽多層反射薄膜來把光傳遞到晶片上。不同於一般的紫外光微影技術，EUV 微影技術得在低 ...

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