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存在於矽磊晶層之電動性缺陷的探討 - 國內學術電子期刊系統

... 中文摘要： 本文對存在於矽磊晶層之電動性缺陷的特性進行觀察與分析。 ... 高於10^20cm^-3 ，則該等應力有可能促成滑線斷層(Slip Line Dislocation)的?生。

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