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氫氣蝕刻氮化鎵及其後續成長之研究 - 國立交通大學機構典藏

中文 摘要. ... 會向上延伸，因此可以降低GaN 厚膜表面的threading dislocation ... 面的threading dislocations 卻容易被蝕刻成六角V 型凹洞。[22].

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