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氧化擴散系統 - 貴重儀器中心

磷預沈積(POCL3 Pre-Deposition) ... 半導體工業的製造方法是於矽半導體上製造具精密複雜的積體電路之電子元件，其中氧化及擴散製程為半導體工業發展不可或缺之技術， ...

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