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非晶矽(矽鍺)及CIGS薄膜太陽能電池服務平台

Pre-deposition of p-layer. 沉積p型半導體薄膜. Deposit p-layer. 腔體清潔(CF. 4. 電漿). Chamber clean (CF. 4 plasma). 預沉積本質半導體薄膜.

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