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基礎半導體IC製程技術 - 微奈米光機電系統實驗室

C. R. Yang, NTNU MT. -37-. 基礎半導體IC製程模組. 台灣師範大學機電科技學系. C. R. Yang, NTNU MT. -38-. 薄膜沈積. Chemical Vapor Deposition (CVD). ○ PECVD.

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