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建立與沉積材料

這為產業帶來了精確控制的薄膜，其中部分薄膜的厚度與單原子層一樣薄。在半導體製造過程中，沉積的材料包含諸如氮化矽絕緣體、諸如銅和鎢導體、以及諸如鐵磁材料化合物。

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