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ALD 設備與產業展望 - 儀科中心

... 原子層沉積技術(atomic layer deposition, ALD) 逐漸受到重視，尤其半導體製 ... 覆蓋性與厚度控制，許多現有半導體製程亦將轉換為ALD，因此在可見未來ALD 製程 ...

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