請問化學氣相沉積(CVD)跟物理氣相沉積(PVD)是什麼?? PVD顧名思義是以物理機制來進行薄膜湚 ... 電漿濺鍍(Plasma Sputtering) 主要的原理,是在一個真空腔體內通入氬氣.
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