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cvd pvd原理
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【制备专栏】化学气相沉积(CVD)技术梳理 - 材料牛
CVD 和PVD之间的区别主要是,CVD沉积过程要发生化学反应,属于气相化学生长 ... CVD沉积反应里最简单直接的方式就是热分解反应,其原理主要是固态 ...
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