氣相沉積按機理的不同分為物理氣相沉積(pvd) 和化學氣相沉積(cvd) 兩類。 ... 物理式真空鍍膜(PVD) 化學式真空鍍(CVD) 沉積原理表面反應-沉積蒸發-凝固沉積時間沉積 ...
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