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原子層沉積系統(Atomic Layer Deposition, ALD) - 明志科技大學 ...
設備原理: ... 傳統的CVD與PVD鍍膜技術所形成的薄膜缺陷密度高,無法形成緻密連續性的薄膜,對於結構性的元件其厚度均勻性與階梯覆蓋率不佳。
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