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薄膜沉積–Pvd
磁電(magnetron) 式濺鍍系統解決電偶式濺鍍的問題電子逃脫至腔室中,不參與建立沈積所需要的電漿場原理- 靶板背後及周圍加上磁場補捉( 限制) 電子在靶板的前方- 靶材 ...
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