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蒸鍍系統原理真空鍍膜技術之分類

化學氣相沉積法(Chemical Vapor Deposition) ... 階梯覆蓋(Step coverage)能力較差(CVD>濺鍍>真空蒸鍍. >E-gun) ... 有鑒於蒸鍍技術與設備創新發展，且真空鍍膜技術.

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