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cmp鑽石碟
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https://books.google.com.tw/books?id=YzEhEAAAQBAJ&pg=PA10&lpg=PA10&dq=cmp%E9%91%BD%E7%9F%B3%E7%A2%9F&source=bl&ots=_69oDzzX7c&sig=ACfU3U0sInQ8IGyPZaXQuDfBHhZ-JGzF9Q&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwjY0bWArIv-AhXRA4gKHSubCp8Q6AF6BQi_AhAD
台灣光華雜誌2021年3月號中英文版: 隱形冠軍‧卓越企業
1996年同步進行的還有鑽石碟。當時半導體業的晶圓因應化學機械研磨(CMP)製程,需要鑽石修整器,找上研磨專家「中砂」,表達是否能把砂輪技術運用在生產鑽石碟上。
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