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CMP的工作原理及上游材料包括哪些？ - 问答集锦- 未来智库

CMP 抛光液是研磨材料和化学添加剂的混合物，可使晶圆表面产生一层氧化膜，再由抛光液中的磨粒去除，达到抛光的目的。钻石碟是CMP 工艺中必不可少的耗材， ...

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