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次世代CMP 鑽石修整器最佳化設計之研究研究成果報告(精簡版)

組合成大鑽石碟(108 mm)後，也可將鑽石. 磨粒的平整度控制在40 μm 以內。本實驗 ... CMP pad conditioners are made with ... 由於在CMP 製程中，鑽石修整器會直.

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