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半導體CMP不可或缺的利器～先進鑽石碟ADD - 材料世界網

由於鑽石不過份切削拋光墊，兩者的壽命都可大幅延長，因此單位晶圓（Wafer Pass）的CMP成本可以明顯降低。 ADD也可大幅減少磨漿的消耗。大部份的磨漿流向 ...

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