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半導體製程設備技術 - 第 223 頁 - Google 圖書結果

ν λ 圖4.27 Helicon Wave天線種類[4] 4.2 晶圓固定與控溫設備如圖4.28所示,力學式晶圓座(Mechanical Clamp)在單一晶圓製程中最簡易的晶圓固定方式,當晶圓尺寸增大時, ...

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