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半導體元件物理與製程─理論與實務 - 第 189 頁 - Google 圖書結果

這兩種製程與§5.2.3 節所討論的貫穿效應有關,此效應是因為通道長度縮短, ... prime coating)、光阻塗佈(P.R. coating)、軟烤(soft bake)、對準和曝光(alignment& ...

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