圖4.17 R 光阻經Pre-bake 後FTIR ... 不同,此類高分子材料可處於玻璃態、高彈態和黏流態等力學性能三態(如圖2.9 高聚物. 在恒定載荷作用下的變形温度-曲线(恒加載 ...
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