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FE-SEM 操作手冊 - 明志科技大學-材料工程系

OL Stigmator 的X 軸與Y 軸之像差；按下ALIGN(校正)，可進行Gun Alignment、OL Aperture、. Stig Center X、Stig Center Y、CL Stigmator 等各項對於電子束的校正， ...

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