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FE-SEM 操作手冊 - 明志科技大學-材料工程系

(3) 電子束校正控制(ALIGNMENT)：按下STIG(像差補償器)，以左下圖中的X、Y 旋鈕分別調整. OL Stigmator 的X 軸與Y 軸之像差；按下ALIGN(校正)，可進行Gun Alignment、OL ...

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