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儀器設備技術手冊與訓練教材高解析掃描電子顯微鏡
SEM 的主要工作原理為電子槍產生電子束,透過熱游離或是場發射源產生高. 能電子束,經過2 到3 組的電磁透鏡組,用遮蔽孔徑(Condenser Aperture) 選擇.
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