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掃描式電子顯微鏡 - 光電與積體電路故障分析中心

SEM 是由電子槍(Electron Gun)透過熱游離或場發射原理產生高能電子束，經過幾組聚焦 ... 在試片的側上方裝有偵測器，用以擷取二次電子(Secondary Electron)或背向散射 ...

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