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SEM 使用
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5. 掃描式電子顯微鏡(SEM) 檢測實作觀摩
使用SEM 觀測之待測物表面必須可導電,此次實驗待測物為矽晶片,所以. 表面必須鍍上一層導電層。 2. 首先將鍍金機開關打開,再將控制腔體的旋鈕轉至OPEN,接著等鍍金機.
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