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新一代RPM量測技術助力半導體3D整合 - 電子工程專輯

英國業者Infinitesima打造了被形容為「3D版」的新一代快速探針顯微鏡(rapid probe microscope，RPM)，並已提供給比利時研究機構imec；後者也是該公司 ...

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