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Load-Lock系統

真空預載型(Load-Lock)蒸濺鍍系統，分為預載腔體及鍍膜腔體。被鍍物可置於預載腔體內並經由傳輸到達鍍膜腔體，製程完成後再由預載腔體內取出，此系統可保持鍍膜腔體的 ...

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