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Endura® Amber™ PVD | Applied Materials

Endura ® Amber™ PVD. 在微電子製程中，採用銅能可靠並完整地填充元件間的連線溝槽和導孔結構，這對元件可靠性非常重要。此製程的關鍵步驟為阻障層(預防銅擴散至周圍 ...

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