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駐波效應
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微影
◇駐波:當曝光進行時,部份沒有被光阻吸收的光,將透過. 光阻到達晶片的表面,且反射與入射的光波將產生建設性. 及破壞性的干涉。 ◇解決方法是使在光組經過曝光之後,在 ...
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「駐波效應」
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