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高效能HIT 太陽能電池之鈍化層製程研發

相對之波長較短，在電漿腔/電極之駐波效應( standing wave effect )5,6 較射頻電漿嚴重，使得VHF 電漿不易達到工業量產上大面. 積與高均勻度之需求。

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