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大面积超高频对称电容性放电中驻波效应

结果，驻波效应变得明显，从而导致电子密度，射频电压和鞘管宽度的径向分布从均匀的中心高偏移到多节点。当频率接近或高于串联谐振频率时，由于显着的 ...

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