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光刻胶抗反射层 - Litho wiki

本文将会从基础物理的角度介绍“驻波效应”产生的原因，对曝光产生的影响，以及我们可以采取的改善手段。 光刻胶表面的反射及顶部抗反射层（TARC）. 原理.

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