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電漿處理或快速熱回火於MOHOS電容器儲存層之研究

題名: 電漿處理或快速熱回火於MOHOS電容器儲存層之研究. 作者: 莊仲豪. 關鍵字: HfO2. Plasma treatment. Anneal Hysteresis loop. Charge retention

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