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新型半導體全氟化物廢氣電漿處理技術

這篇文章主要說明利用電漿火炬. 產生之高溫電漿進行對半導體全氟碳化物氣體直接裂解的破壞與去除實驗成果，對C2F6 ... 它主要是藉著改變氣體流量及氣體的種類來調整火.

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