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微波電漿應用於分解半導體製程尾氣之研究

電漿 之壓力約20 torr，開啟電漿產生器待電漿產生後再通入定量CF4 送入電漿火. 炬反應腔體中進行反應。反應過程中輔示波器以及微波阻抗匹配調諧器(E-H.

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