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Thin-Film Deposition Principles & Practice

將進入電漿裡，然後利用諸如擴散(Diffusion)等方式，最. 後傳遞到晶片表面並進行沈積。這種利用電漿獨特的離子. 轟擊，以動量轉換的原理在氣相中製備沈積元素，以便進.

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