為什麼這篇氧電漿表面改質原理鄉民發文收入到精華區：因為在氧電漿表面改質原理這個討論話題中，有許多相關的文章在討論，這篇最有參考價值！作者wallace1234 (TACO CHEN)看板NEMS標題[問題] PDMS打氧電漿時間Fr...
大家好 小弟最近在做微流道
最近用氧電漿bonding PDMS在載玻片上
但都bond不好
想請問如果氧電漿瓦數開太高或打太久
是不是對PDMS不好?
聽學姐說打太高瓦數會使PDMS變硬
請問原理是為什麼?
想請教一下版上高人
謝謝大家。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.12.27
推 jeffdon2:在打氧電漿之前請先注意玻璃與PDMS的表面清潔，用3M膠帶 11/16 20:35
→ jeffdon2:將微塵黏乾淨再打，另外玻璃與PDMS都要打，黏貼效果較好 11/16 20:37
→ jeffdon2:一般瓦數不會高於30w，而且真空也不能太低，有可能會把氧 11/16 20:40
→ jeffdon2:抽走而改質不完全，時間大多打三分鐘就夠了 11/16 20:41
→ wallace1234:我看paper有打90或100W 真囧= = 11/17 00:16
→ wallace1234:感謝大大! 11/17 00:16
推 s75287:功率高 通入空氣多 打的時間要越短....我用 70W打十秒就夠 11/17 07:16
推 s75287:有paper探討 表面改質太多反而會造成binding 效果不佳... 11/17 07:18
→ wallace1234:感謝樓上講解~ 那我的確打太久了... 11/18 00:58