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Plasma antenna and 微波電漿源技術及應用(半導體科技NO.26 ...

#P#微波電漿原理及發展早於50年代，即有人嘗試，利用微波來產生電漿，當時之設計非常 ... 現為工業技術研究院化學工業研究所副研究員，專長：微波電漿表面處理及應用。

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