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電子材料連水養(S. Y. Lien) 電漿的基礎原理、製程與應用

另外電漿技術也應用在. 航太機械、高分子工業和環保污染防制上，例如. 光學元件的鍍膜；提高模具使用壽命的抗磨耗膜；. 不織布、光學塑膠或玻璃的表面處理；微感測器的.

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