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電漿源原理與應用之介紹

後處理後之SEM 照片[5]。 所示)，其中平面型螺旋線圈（Spiral coil）置於平面真. 空介電窗上，此設計可利用調變線圈之分佈或與真空. 窗之距離，使晶圓表面的電漿分佈 ...

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