你即將離開本站

並前往http://mems.mt.ntnu.edu.tw/document/%E5%8F%8D%E6%87%89%E6%80%A7%E9%9B%A2%E5%AD%90%E8%9D%95%E5%88%BB%E6%8A%80%E8%A1%93.pdf

乾蝕刻技術 - 微奈米光機電系統實驗室

離子蝕刻兼具物理與化學的特性，係適當的選擇與薄膜進行反應(蝕. 刻) 之氣體，通入反應室中並解離成電漿，並施與一偏壓，讓離子轟擊與. 電漿蝕刻同時進行，所以具有某種 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「電漿蝕刻原理」的人也找了：

  1. 乾蝕刻原理
    2.
  2. 電漿蝕刻步驟
    3.
  3. 電漿蝕刻優點
    4.
  4. 電漿原理ppt
    5.
  5. 電漿原理
    6.
  6. 電 漿 產生器
    7.
  7. 電漿清洗原理
    8.
  8. 電漿蝕刻機
    9.